Waferhandling Diffusion

 
Zur Erzeugung einer Potentialdifferenz werden in das Kristallgitter des Wafers Phosphoratome eingelagert. Die Dotierung erfolgt in einem Diffusionsofen mit Phosphoratmosphäre. Beim Batch-Prozess wird dazu ein Quarzboot mit Wafern beladen und in den Ofen eingefahren. Das baumann Waferhandling Diffusion automatisiert diesen Be- und Entladeprozess.

Speziell entwickelte Greiftechniken garantieren schonende Handhabung. Ein 6-Achs-Roboter ermöglicht auch komplexe Beladeabläufe bei höchster Präzision. Zur Prozesskontrolle ist ein Leitfähigkeitsmessplatz integriert. Die Verwendung von Standardmodulen gewährleistet hohe Zuverlässigkeit, Flexibilität und kurze Lieferzeiten.

Info-Download: baumann_Waferhandling_Diffusion.pdf

baumann_PV_Diffusion

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