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Waferhandling Nassbank Im Zuge der Solarzellenfertigung durchläuft der Wafer eine Vielzahl nasschemischer Prozesse. Hierzu gehören beispielsweise das Sägeschadenätzen, das Texturieren oder die Kantenisolierung. Die Siliziumscheiben werden auf mehrspurige Rollenbahnen verteilt und durch die Nassbank prozessiert. Das baumann Waferhandling Nassbank automatisiert diesen Beladevorgang. Speziell entwickelte Greiftechniken garantieren schonende Handhabung. Roboter ermöglichen hochflexible und positionsgenaue Beladeabläufe. Zur Kontrolle der Ätzrate wird jeder Wafer gewogen. Optional können weitere Prüfsysteme (wie Materialhilfeerkennung, TTV, usw.) integriert werden. Die Verwendung von Standardmodulen gewährleistet hohe Zuverlässigkeit, Flexibilität und kurze Lieferzeiten. Info-Download: baumann_Waferhandling_Nassbank.pdf
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