为了增强太阳能电池片的转换效率,需要在电池片表面覆盖一层防反射薄膜.这种覆盖薄膜的特殊技术叫等离子增强型化学气相沉积(PECVD).采用批处理的形式,先在石墨舟里装入硅片然后整体推入PECVD炉子. baumann公司的PECVD石墨舟硅片装卸系统将这一上下料过程完全自动化.

并且采用一种特别研发的夹具技术,该技术确保硅片拿放的高可靠性,最小化硅片损坏或破片. 系统采用一个 6 轴机械手, 能够以最高的精度完成复杂的上下料顺序. 集成的视觉系统用来检查经PECVD工艺后硅片是否有缺陷及涂层质量. 系统使用标准部件设计,成熟的技术,模块化的设计在确保可靠性的同时,保证了系统的灵活性和较短的供货时间.