Waferhandling Diffusion – 3. Generation

Beladen und Entladen von Quartz-Booten und SIC-Booten

Zur Erzeugung einer Potentialdifferenz in der Solarzelle werden in das Kristallgitter des Wafers Phosphoratome eingelagert. Die Dotierung erfolgt in einem Diffusionsofen mit Phosphoratmosphäre. Wegen der hohen Prozesstemperatur wird ein Quartzboot mit Wafern beladen, das dem Ofen zugeführt wird.

Baumann Waferhandling Diffusion - Erzeugung einer Potentialdifferenz in Solarzellen
 
 

Hauptmerkmale:

• Durchsatz bis zu 4000 W/h
• Bruchrate ≤ 0,1 %
• Technische Verfügbarkeit ≥ 98 %

 

 
 
 
Baumann GmbH

Kontakt

Weitere Informationen zum Baumann Waferhandling Diffusion erhalten Sie unter:

photovoltaic@baumann-automation.com