Waferhandling Wetbench – 3. Generation

Be- und Entladen von Nassbänken

Im Zuge der Solarzellen-Fertigung durchlaufen die Siliziumwafer eine Vielzahl nasschemischer Prozesse, wie zum Beispiel:

  • das Sägeschadenätzen
  • das Texturieren bzw. Texturätzen und
  • die Kantenisolierung.

Die Wafer werden auf mehrspurige Rollenbahnen verteilt und in der Nassbank prozessiert.

Baumann Waferhandling Wetbench

automatisiert das Beladen und Entladen der mehrspurigen Bänder. Die speziell entwickelte Greifer-Technologie gewährleistet sicheres Handling bei minimalem Waferbruch.

Integrierte Roboter ermöglichen komplexe Beladeprozesse bei höchster Präzision.

Während des Belade- und Entladeprozesses können zur Qualitätskontrolle etwa eine Waage zur Prüfung der Ätzrate, Materialfehlererkennung, TTV, und vieles mehr integriert werden.

Die Prozess-Datensätze der Qualitätskontroll-Systeme und die einfache Vernetzung der Anlagen sind eine sehr gute Grundvoraussetzung für ein effizientes Industrie- und Shopfloor-Management.

Baumann Waferhandling Wetbench - sicheres Handling bei minimalem Waferbruch
 
 

Hauptmerkmale:

• Durchsatz bis zu 3000 W/h
• Bruchrate ≤ 0,1 %
• Technische Verfügbarkeit ≥ 98 %

 

 
 
 
Baumann GmbH

Kontakt

Weitere Informationen zum Baumann Waferhandling Wetbench erhalten Sie unter:

photovoltaic@baumann-automation.com